一、當(dāng)蒸發(fā)室真空度達(dá)到所需要求工作真空度時(shí)，可進(jìn)行電阻蒸發(fā)。操作過(guò)程如下：

a.選擇好阻蒸，手動(dòng)操作擋板機(jī)構(gòu)，使擋板置于蒸發(fā)源上方，緩緩調(diào)節(jié)坩堝溫度升溫待蒸發(fā)材料預(yù)熔除氣完畢后，打開(kāi)擋板開(kāi)始蒸發(fā)（使用設(shè)備底部磁力驅(qū)動(dòng)把手打開(kāi)坩堝口）。

b.通過(guò)上下鍵設(shè)定目標(biāo)溫度，按下加熱啟停鍵對(duì)坩堝進(jìn)行加熱。

二、蒸發(fā)完畢后，對(duì)被鍍工件進(jìn)行一段時(shí)間的真空狀態(tài)儲(chǔ)存。然后操作真空度。打開(kāi)放氣閥對(duì)蒸發(fā)室放氣，待放氣閥完畢后，及時(shí)關(guān)閉放氣閥。打開(kāi)蒸發(fā)室門(mén)，取下工件。

三、取出工件后，應(yīng)迅速做好下一周期的準(zhǔn)備工作。關(guān)上蒸發(fā)室門(mén)，擰緊門(mén)框。重復(fù)抽真空。蒸發(fā)室暴露大氣的時(shí)間不應(yīng)超過(guò)15min。

四、關(guān)總電源、水源、氣源。

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